Focussed Ion Beam: Die „feine Klinge" der Materialanalyse. (13th February 2018)
- Record Type:
- Journal Article
- Title:
- Focussed Ion Beam: Die „feine Klinge" der Materialanalyse. (13th February 2018)
- Main Title:
- Focussed Ion Beam
- Authors:
- Petersen, Jan
- Abstract:
- Zusammenfassung: Mit der Focussed Ion Beam Technik kann man auf kleinster Skala in nahezu jedes Material hineinschneiden und Strukturen unterhalb der Oberfläche direkt abbilden oder chemisch analysieren. Vorteil gegenüber einer herkömmlichen Querschliffpräparation ist vor allem die höhere Präzision, durch die sich selbst kleinste lokale Defekte untersuchen lassen. Die Anwendungsmöglichkeiten des fokussierten lonenstrahls reichen bis zur Erzeugung komplexer Nanostrukturen. Dieser Artikel behandelt die Funktionsweise, Einschränkungen sowie einige Anwendungsbeispiele aus der Materialanalytik.
- Is Part Of:
- Vakuum in Forschung und Praxis. Volume 30:Number 1(2018)
- Journal:
- Vakuum in Forschung und Praxis
- Issue:
- Volume 30:Number 1(2018)
- Issue Display:
- Volume 30, Issue 1 (2018)
- Year:
- 2018
- Volume:
- 30
- Issue:
- 1
- Issue Sort Value:
- 2018-0030-0001-0000
- Page Start:
- 40
- Page End:
- 47
- Publication Date:
- 2018-02-13
- Subjects:
- Vacuum technology -- Periodicals
621.55 - Journal URLs:
- http://onlinelibrary.wiley.com/journal/10.1002/(ISSN)1522-2454 ↗
http://onlinelibrary.wiley.com/ ↗ - DOI:
- 10.1002/vipr.201800670 ↗
- Languages:
- English
- ISSNs:
- 0947-076X
- Deposit Type:
- Legaldeposit
- View Content:
- Available online (eLD content is only available in our Reading Rooms) ↗
- Physical Locations:
- British Library DSC - 9140.880000
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