Focussed Ion Beam: Die „feine Klinge" der Materialanalyse. (13th February 2018) - Petersen, Jan
Zusammenfassung: Mit der Focussed Ion Beam Technik kann man auf kleinster Skala in nahezu jedes Material hineinschneiden und Strukturen unterhalb der Oberfläche direkt abbilden oder chemisch analysieren. Vorteil gegenüber einer herkömmlichen Querschliffpräparation ist vor allem die höhere Präzision, durch die sich selbst kleinste lokale Defekte untersuchen lassen. Die Anwendungsmöglichkeiten des fokussierten lonenstrahls reichen bis zur Erzeugung komplexer Nanostrukturen. Dieser Artikel behandelt die Funktionsweise, Einschränkungen sowie einige Anwendungsbeispiele aus der Materialanalytik.