Vakuumerzeugung mit integrierter Druckmessung: Relevanz verschiedener Messorte für die Überwachung kompakter Anlagen. (7th June 2021) - Schäfer, Viola; Schopphoff, Andreas
Zusammenfassung: In der Vakuumtechnologie werden Vakuumerzeugung und Vakuumdruckmessung als zwei komplett unterschiedliche Systeme betrachtet. In einigen wenigen vakuumtechnischen Komponenten werden beide Aspekte jedoch in einer Komponente zusammengeführt. So kann eine Ionengetterpumpe nicht nur Vakuum erzeugen, sondern auch – ähnlich wie eine Kaltkathodenionisationsvakuumröhre – den Vakuumdruck detektieren. Zwar lässt sich auch zwischen einer Turbopumpe und einem Spinning Rotor Gauge eine Analogie herstellen, in diesem Falle handelt es sich aber bestenfalls um eine Druckindikation und nicht um eine Vakuumdruckmessung. Dabei können mit den heutigen leistungsfähigen Turbopumpen‐Elektroniken einfache Vakuumtransmitter betrieben werden. Insbesondere für Anwendungen, bei denen kleinste Baugrößen und die Bedienung über eine einzige Schnittstelle nötig sind, kann die Integration von Vakuumdruckmessung in Vakuumerzeugung sehr sinnvoll sein. Der vorliegende Beitrag zeigt Möglichkeiten einer kompakten Integration der Druckmessung für Turbomolekularpumpen mit Dragstufe auf und bewertet die Aussagekraft einer Druckmessung am Flutanschluss. Summary: Vacuum generation with integrated pressure measurement – Relevance of different measuring locations for the monitoring of compact equipment Vacuum generation and vacuum pressure measurement are considered two completely different vacuum technological systems. In a few components, however, both aspects are combined in one component. For example, an ion getter pump can not only generate vacuum, but also detect vacuum pressure – similar to a cold cathode ionization vacuum tube. Although an analogy can also be made between a turbomolecular pump and a spinning rotor gauge, in this case it is at best a pressure indication and not a vacuum measurement. In this case, simple vacuum transmitters should be operated with today's powerful turbopump electronics. Especially for applications requiring the smallest possible sizes and operation via a single interface, the integration of vacuum pressure measurement into vacuum generation can prove extremely useful. This contribution shows options for compact integration of pressure measurement for turbomolecular pumps with drag stage and evaluates the significance of a pressure measurement at the flood connection.