Der Alleskönner der Messtechnik: Die Zustandsüberwachung von Vakuumeigenschaften. (2nd December 2019)

• Record Type: Journal Article
• Authors: Granovskij, Mihail; Kohl, Marcel; Zimare, Anton; Bergner, Klaus; Flämmich, Michael; Bergner, Ute
• Is Part Of: Vakuum in Forschung und Praxis. Volume 31:Number 6(2019)
• Page Start: 41
• Page End: 44
• Publication Date: 2019-12-02
• Subjects: Vacuum technology -- Periodicals; 621.55
• DOI: 10.1002/vipr.201900727
• Languages: English
• ISSNs: 0947-076X

Abstract

Zusammenfassung: Novion ist ein Alleskönner der Vakuummesstechnik. Der neu entwickelte Sensor basiert auf einer neuartigen Ionenquelle und einem integrierten TOF‐Massenspektrometer. Das Vakuummessgerät ist vielseitig einsetzbar: für präzise Totaldruckmessung über einen weiten Bereich bei gleichzeitiger Bestimmung des Heliumpartialdrucks sowie für eine Restgasanalyse. Durch den Einsatz der patentierten Ionenquelle erreicht das Messgerät zudem einen hohen Dynamikbereich bis in den UHV‐Bereich, ohne auf einen kostenintensiven Elektronenvervielfacher zurückgreifen zu müssen. Das Novion zeichnet sich durch eine kompakte Bauweise, einfache Wartung und intuitive Bedienung aus. Der Artikel deckt die Einsatzgebiete dieses vielseitigen Sensors auf und erklärt detailliert seine Funktionsweise. Summary: The all‐rounder of measurement technology – Monitoring of vacuum properties The Novion is an all‐rounder of vacuum measurement technology. The newly developed sensor is based on a novel ion source and an integrated TOF mass spectrometer. The new vacuum measuring instrument is versatile: precise total pressure measurement over a wide range and simultaneously determination of helium partial pressure and residual gas analysis. By using the patented ion source, the instrument also achieves a high dynamic range without the use of a cost‐intensive electron multiplier, down to the UHV range. The Novion comes with a compact design, easy maintenance and an intuitive operation. The article covers the fields of application of this multi‐method sensor and explains its functionality in detail.