Bestimmung des Saugvermögens von Ionengetterpumpen: Messverfahren im Vergleich: DIN 28429 und ISO/DIS 3556‐1.2. (10th October 2018)

• Record Type: Journal Article
• Authors: Meierott, Stefan; Walter, Marco; Bergner, Klaus; Flämmich, Michael; Bergner, Ute
• Is Part Of: Vakuum in Forschung und Praxis. Volume 30:Number 5(2018)
• Page Start: 34
• Page End: 38
• Publication Date: 2018-10-10
• Subjects: Vacuum technology -- Periodicals; 621.55
• DOI: 10.1002/vipr.201800696
• Languages: English
• ISSNs: 0947-076X

Abstract

Zusammenfassung: Saugvermögensmessungen an Ionengetterpumpen werden üblicherweise nach einer der folgenden Vorlagen durchgeführt: DIN 28429 oder ISO/DIS 3556‐1.2. Im diesem Artikel diskutieren wir Unterschiede der beschriebenen Messverfahren. Anhand experimenteller Daten wird der Einfluss einzuhaltender Druckhaltezeiten auf die Höhe der ermittelten Saugvermögenskurven sowie auf die Reproduzierbarkeit der Messdaten diskutiert. Saugvermögenswerte aus einer Messung nach der inzwischen zurückgezogenen ISO/DIS 3556‐1.2 können um bis zu 30 % höher liegen können als die Werte aus einer Messung nach gültiger DIN 28429. Die Festlegung von Druckhaltezeiten entsprechend DIN 28429 ermöglicht reproduzierbare Messwerte.