Nano‐Design für Makroschichten: Anwendungsperspektiven für PVD‐Beschichtungen bis 100 μm Dicke. (30th August 2018)

• Record Type: Journal Article
• Authors: Krülle, Tim; Kaulfuß, Frank; Zimmer, Otmar; Leyens, Christoph
• Is Part Of: Vakuum in Forschung und Praxis. Volume 30:Number 4(2018)
• Page Start: 46
• Page End: 49
• Publication Date: 2018-08-30
• Subjects: Vacuum technology -- Periodicals; 621.55
• DOI: 10.1002/vipr.201800687
• Languages: English
• ISSNs: 0947-076X

Abstract

Zusammenfassung: Immer noch begrenzen inhomogene Beschichtungen durch Fehlerwachstum und unregelmäßige Schichtdickenverteilung entlang der Oberfläche von komplex geformten Bauteilen die Anwendung dickerer Schichten. Für gewöhnlich wird die Schichtdicke daher auf etwa 10 μm begrenzt. Um die Oberflächenrauheit durch die aufwachsende Schicht zu begrenzen, werden mehrlagige Schichtsysteme durch hochionisierte Plasmen abgeschieden. Dadurch lassen sich deutlich glattere Schichten erzeugen, die bisher nur durch mechanische Nachbearbeitung herstellbar waren. Des Weiteren lassen sich durch die Kombination von ausgewählten Materialsystemen und gezielter Parameterwahl, während der Beschichtung insbesondere an Kanten Strukturen abscheiden, die eine Reduktion des Schneidkantenradius zur Folge haben. Somit sollen Kantengeometrien in Zukunft gezielt durch den Beschichtungsprozess eingestellt werden können.