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HARVARD Citation
Tinkham, B. (2015). Abscheidung von SiOxNy Sperrschichten durch Dual Magnetron Sputtering. Vakuum in Forschung und Praxis. pp. 40-45. [Online].
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Tinkham, B. (2015). Abscheidung von SiOxNy Sperrschichten durch Dual Magnetron Sputtering. Vakuum in Forschung und Praxis. pp. 40-45. [Online].