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Ulrich Hilleringmann. Silizium-Halbleitertechnologie : Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik. Wiesbaden : Springer Vieweg, 2018. http://access.bl.uk/ark:/81055/vdc_100077915720.0x000001
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Ulrich Hilleringmann. Silizium-Halbleitertechnologie : Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik. Wiesbaden : Springer Vieweg, 2018. http://access.bl.uk/ark:/81055/vdc_100077915720.0x000001