1. Korrosionsbeständige mikroverfahrenstechnische Apparate durch CVD‐Beschichtung mit Tantal. Issue 8 (5th July 2018) Authors: Gietzelt, Thomas; Kraut, Manfred; Messerschmidt, Florian; Fürbeth, Wolfram; Dittmeyer, Roland Journal: Chemie Ingenieur Technik Issue: Volume 90:Issue 8(2018) Page Start: 1037 Record Type: Journal Article View Content: Available online (eLD content is only available in our Reading Rooms) ↗