1. Influence of bias voltage and sputter mode on the coating properties of TiAlSiN: Einfluss der Biasspannung und des Sputtermodus auf die Schichteigenschaften von TiAlSiN. Issue 9 (5th September 2017) Authors: Tillmann, W.; Dildrop, M. Journal: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik Issue: Volume 48:Issue 9(2017) Page Start: 855 Record Type: Journal Article View Content: Available online (eLD content is only available in our Reading Rooms) ↗