1. Optische in‐situ Prozessverfolgung und ‐steuerung. (December 2013) Authors: Gäbler, Johannes; Stenzel, Olaf; Wilbrandt, Steffen; Kaiser, Norbert Journal: Vakuum in Forschung und Praxis Issue: Volume 25:Number 6(2013) Page Start: 22 Record Type: Journal Article View Content: Available online (eLD content is only available in our Reading Rooms) ↗